Trichlorosilan

Trichlorosilan (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) to bezbarwna, bardzo lotna ciecz o ostrym, dławiącym zapachu chlorowodoru. Wrząc w temperaturze 31,8 stopnia i gwałtownie reagujący z wilgocią, jest kluczowym surowcem w procesie firmy Siemens mającym na celu produkcję polikrzemu o wysokiej-czystości do fotowoltaicznych ogniw słonecznych i płytek półprzewodnikowych. TCS jest również szeroko stosowany w epitaksjalnym wzroście płytek krzemowych, syntezie krzemoorganicznego (oleje silikonowe, kauczuki, żywice, środki sprzęgające), osadzaniu cienkowarstwowym krzemu metodą CVD oraz jako selektywny środek redukujący w syntezie organicznej. Dostępne w klasie przemysłowej (większej lub równej 99,0%) i elektronicznej (o czystości do 9N). Sklasyfikowany jako reagujący z wodą i wysoce łatwopalny (UN 1295, klasa 4.3+2.3, PG I) o niezwykle szerokim zakresie wybuchowości 1,2–90,5%; stosować wyłącznie w warunkach ściśle bezwodnych i w osłonie suchego azotu.